熱式氣體流量計(jì)是根據(jù)介質(zhì)熱傳遞原理制成的一種流量?jī)x表,一般用來(lái)測(cè)量氣體的流量.根據(jù)被測(cè)物理量的不同可以有以下3種測(cè)量關(guān)系:
　　1、利用流體流過(guò)加熱管道時(shí)產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化與流體流量的關(guān)系;
　　2、利用加熱流體時(shí)流體溫度上升某一值所需要的能量與流體流量之間的關(guān)系;
　　3、利用流體流過(guò)加熱探頭時(shí)帶走的熱量與流體流量的關(guān)系.熱式氣體流量計(jì)壓損低,流量范圍度大,高精度、高重復(fù)性和高性,無(wú)可動(dòng)部件以及可用于極低氣體流量監(jiān)測(cè)和控制等特點(diǎn).根據(jù)上述3種測(cè)量關(guān)系可以分成兩種測(cè)量方法,一種是給流體加入必要的熱量,熱能隨流體流動(dòng),可以通過(guò)檢測(cè)相應(yīng)點(diǎn)的熱量變化來(lái)求出流量;
　　另一種是在流動(dòng)的流體中放置發(fā)熱元件,其溫度隨流速變化,可以通過(guò)檢測(cè)發(fā)熱元件被冷卻來(lái)測(cè)量流量;前者稱(chēng)為熱量式,屬于這種測(cè)量方法的儀表有早期的托馬斯流量計(jì)、非接觸式的邊界層流量計(jì)和熱分布型流量計(jì);后者稱(chēng)為熱導(dǎo)式,屬于這種測(cè)量方法的儀表有熱線風(fēng)速儀,浸入型流量計(jì)等.
　　利用加熱流體的熱量(或溫度)變化測(cè)量流體的流量計(jì)已有很長(zhǎng)的歷史.早期的熱式流量計(jì)直接將加熱線圈和測(cè)溫元件放入流體中與流體直接接觸,是種接觸式流量計(jì),20世紀(jì)初提出的托馬斯流量計(jì)是這種流量計(jì)的代表.
　　由于不能解決腐蝕和磨損以及防爆等問(wèn)題,使它的工業(yè)應(yīng)用受很大的限制.到20世紀(jì)50年代,人們提出了一種與流體不接觸的邊界層流量計(jì),克服了接觸式流量計(jì)的缺點(diǎn),但測(cè)量結(jié)果易受介質(zhì)參數(shù)(如導(dǎo)熱系數(shù)、比熱容、粘度等)的影響,常用來(lái)測(cè)量較大的液體流量;到70年代,基于測(cè)量流體溫度分布的熱分布型流量計(jì),由于其*的優(yōu)點(diǎn)和與流體非接觸的性能在國(guó)內(nèi)外得到了很快的發(fā)展,用來(lái)測(cè)量氣體的微小流量;
　　隨著科技的發(fā)展,經(jīng)過(guò)對(duì)流量計(jì)結(jié)構(gòu)上的重新設(shè)計(jì),在接觸式流量計(jì)的基礎(chǔ)上,人們提出了一種浸入型的熱式流量計(jì),并得到了很快的發(fā)展,熱探頭有熱線、熱膜、微型熱阻橋等,可以用來(lái)測(cè)量較大管徑的氣體流量.